英国雷尼绍公司激光干涉仪(ML10 Gold)
项 目
单 位
参 数
线性测量分辨率
um
0.001
测量范围
m
40
线性测量精度
ppm
±? 0.7
最高测量速度
m/min
60
长期稳频精度
ppm
± 0.05